中華人民共和國(guó)機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
JB/T 6446——2004
代替JB/T 644——1992， JB/T 4077~4080——1991，JB/T 4083——1991
真空閥門
Vacuum valves
2004-10-20發(fā)布2005-04-01 實(shí)施
中華人民共和國(guó)機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
JB/T 6446——2004
代替JB/T 644——1992， JB/T 4077~4080——1991，JB/T 4083——1991
中華人民共和國(guó)國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì) 發(fā)布
目 次
前言.....................III
1 范圍......................1
2規(guī)范性引用文件............1
3 型式與基本參數(shù)...........1
3.1 型式....................1
3.2 基本參數(shù)與連接尺寸.......1
4 基本條件.................13
4.1基本要求................13
4.2正常開(kāi)啟條件.............13
4.3 環(huán)境溫度.................14
4.4介質(zhì).....................14
4.5質(zhì)量保證.................14
5 技術(shù)要求..................14
5.1 漏率.....................14
5.2 線圈溫升.................14
5.3開(kāi)、閉時(shí)間...............14
5.4 平均無(wú)故障次數(shù)............14
5.5 最大、 最小可調(diào)量.........14
5.6 烘烤溫度..................14
5.7 絕緣強(qiáng)度..................14
5.8 外觀質(zhì)量..................14
5.9 動(dòng)作要求..................14
6 試驗(yàn)方法....................14
6.2 溫升的測(cè)試.................16
6.3 開(kāi)、閉時(shí)間的測(cè)試...........16
6.4 平均無(wú)故障次 數(shù)的測(cè)試.....16
6.5 最小可調(diào)量及最大可調(diào)量的測(cè)試......17
6.6 烘烤溫 度的測(cè)試.............17
6.7 絕緣強(qiáng)度的測(cè)試..............17
6.8 外觀質(zhì)量....................17
6.9 動(dòng)作要求....................17
7 檢驗(yàn)規(guī)則......................17
8 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存........17
表1 電磁真空帶 充氣閥基本參數(shù)與連接尺寸........2
表2 電磁高真空擋板 閥基本參數(shù)與連接尺寸........3
表3 電磁高真空 充氣閥基本參數(shù)與連接尺寸........4
表4 高真空微調(diào)閥基本參數(shù)與連接尺寸.............5
表5 高真空隔膜閥基本參數(shù)與連接尺寸.............6
表6 高真空蝶閥基本參數(shù) 與連接尺寸..............7
表7 高真空擋板閥基本參數(shù)與連接尺寸.............8
表8 高真空插板閥基本參數(shù)與連接尺寸..............9
表9 真空調(diào)節(jié)閥基本 參數(shù)與連接尺寸..............10
表10 真空球閥基本參數(shù)與連接尺寸................11
表11 超高真空擋板閥基本參數(shù)與連接尺寸...........12
表12 超高真空插板閥基本參數(shù)與連接尺寸...........13
表13 閥門漏率測(cè)試內(nèi)容...........................16
前 言
本標(biāo)準(zhǔn)代替JBIT 6446- 1992 《真空閥門技術(shù)條件》、JB/T 4077- 1991 《高真空插板閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4078- 1991 《高真空擋板閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4079- -1991 《高真空蝶閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4080- 1991 《高真空電磁閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4083--1991《真空電磁帶充氣閥型式與基本參數(shù)》。
依據(jù)GB/T 1.1- -2000 的有關(guān)規(guī)定，形成本標(biāo)準(zhǔn)的編寫(xiě)格式和方法，同時(shí)將JB/T 4077-1991 《高真空插板閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4078-1991《高真空擋板閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4079- 1991 《高真空蝶閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4080- 1991 《高真空電磁閥型式與基本參數(shù)》、JB/T 4083- 1991 《真空電磁帶充氣閥型式與基本參數(shù)》的內(nèi)容納人本標(biāo)準(zhǔn)，并增加了電磁高真空充氣閥、高真空隔膜閥、
高真空微調(diào)閥、真空調(diào)節(jié)閥、真空球閥、超高真空擋板閥、超高真空插板閥的內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SACITC18) 歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:上海閥門二廠、 沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:李紅、張明達(dá)。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
--ZB J78 005一1987、 JB/T 6446-1992;
--ZB J78 006- 1987. JB/T 6446-1992;
--JB 4077一 1985、JB/T 4077-1991;
--JB 4078- -1985、JB/T 4078-1991;
--JB 4079-1985、JB/T 4079-1991:
--JB 4080-1985、JB/T 4080-1991;
--JB 4083-1985、 JB/T 4083-1991。
真空閥門
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空閥門(以下簡(jiǎn)稱閥門)的型式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于應(yīng)用在真空系統(tǒng)中的電磁真空帶充氣閥、電磁高真空擋板閥、電磁高真空充氣閥、高真空微調(diào)閥、高真空隔膜閥、高真空蝶閥、高真空擋板閥、高真空插板閥、真空調(diào)節(jié)閥、真空球閥、超高真空擋板閥、超高真空插板閥。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單1不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB/T3164 真空技術(shù)系統(tǒng)圖用圖形符號(hào)
GB/T 4982 真空技術(shù)快卸連接器 尺寸第1部分:夾緊型(GBT 4982- 2003， ISO 2861-1;1974 (E)，DT)
GB/T 6070 真空法蘭 (GB/T 6070- 1995，eqv ISO 1609: 1986)
GB/T 6071 (所有部分)超高真空法蘭
GB/T 13306 標(biāo)牌
JB/T 5278 (所有部分)銅絲 密封可烘烤真空法蘭
JB/T 7352 工業(yè)過(guò)程控制系統(tǒng)用電磁閥
JB/T 7673 真空設(shè)備型號(hào)編制方法
3 型式與基本參數(shù)
3.1 型式
3.1.1 驅(qū)動(dòng)型式
閥門有手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)和電磁動(dòng)四種型式，分別以手、壓縮空氣、電源和電磁力為動(dòng)力，通過(guò)執(zhí)行機(jī)構(gòu)帶動(dòng)閥板(或閥的主密封件)使閥廣開(kāi)啟和關(guān)閉。
3.1.2 型號(hào)表示方法
閥門的型號(hào)表示方法應(yīng)符合JB/T 7673的規(guī)定。
3.1.3 公稱通徑
閥門的公稱通徑DN ( 單位為mm)應(yīng)從下列系列中選取:
0.8，1.5， 2.5，6，10，16，20，25，32，40， 50， 63 (65)， 80，100, 125，160 ( 150)，200.250，320 (300)， 400, 500，630 (600)， 800， 1000， 1250 (1200)， 1600 ( 1500).
3.2 基本參數(shù)與連接尺寸
3.2.1 電磁真空帶充氣閥
3.2.1.1 圖1.圖2給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.1.2 表1給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.2 電磁高真空擋板閥
3.2.2.1 圖3、圖4給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.2.2表2給出了 閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.3.1圖5. 圖6給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.3.2 表3給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.4 高真空微調(diào)閥
3.2.4.1 圖7給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.4.2 表4給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.5 高真空隔膜閥
3.2.5.1 圖8. 圖9.圖10給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.5.2 表5給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.6 高真空蝶閥
3.2.6.1 圖11給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。.
3.2.6.2 閥門的驅(qū)動(dòng)型式為手動(dòng)、氣動(dòng)和電動(dòng)。
3.2.6.3 表6給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.7 高真空擋板閥
3.2.7.1 圖12、圖13.圖14和圖15給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.7.2 閥門的驅(qū)動(dòng)型式為手動(dòng)、氣動(dòng)和電動(dòng)。
3.2.7.3 表7給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.8 高真空插板閥
3.2.8.1 圖16、圖17給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式，
3.2.8.2 閥門的驅(qū)動(dòng)型式為手動(dòng)，氣動(dòng)和電動(dòng)。
3.2.8.3表8給出 了閥[ ]的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.9 真空調(diào)節(jié)閥
3.2.9.1 圖18， 圖19給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.9.2 表9給出了閥門的墓本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.10 真空球閥
3.2.10.1 圖 20、圖21和圖22給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式，
3.2.10.2 閥門的驅(qū)動(dòng)型式為手動(dòng)、氣動(dòng)和電動(dòng)。
3.2.10.3表10給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.11 超高真空擋板閥
3,2.11.1 圖23給出了閥門的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.11.2 '表11給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
3.2.12 超高真空插板閥
3.2.12.1 圈24、 圖25給出了閥廣]的結(jié)構(gòu)型式。
3.2.12.2 閥門的驅(qū)動(dòng)型式為手動(dòng)，氣動(dòng)和電動(dòng)。
3.2.12.3 表12給出了閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。
4 基本條件
4.1 基本要求
閥門應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的要求，并按照經(jīng)規(guī)定程序批準(zhǔn)的圖樣及技術(shù)文件制造。
4.2 正常 開(kāi)啟條件
4.2.1 電磁真空帶充氣閥， 當(dāng)電壓在A.C.220X(1土10%)V范圍內(nèi)時(shí)應(yīng)能正常開(kāi)啟。
4.2.2 電磁高真空擋板閥， 當(dāng)電壓在A.C.220X(1土I0%)V范圍內(nèi)及閥門密封面下端為真空，另一端為大氣時(shí)，應(yīng)能正常開(kāi)啟。
4.2.3電磁高真空充氣閥采 用交流電源時(shí)，當(dāng)電壓在A.C.220X(I土10%)V范圍內(nèi)，閥門應(yīng)能正常
開(kāi)啟。
4.2.4 超高真空插板閥， 閥門兩側(cè)壓力差應(yīng)不大于(2.7>10*) Pa。
4.3 環(huán)境溫度
閥門適用的環(huán)境溫度為5C ~40C.
4.4 介質(zhì)
閥門的使用介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
4.5 質(zhì)量保證
在用戶遵守閥門保管、使用、安裝等規(guī)定的條件下，從制造廠發(fā)貨日起一年內(nèi)，閥門因制造質(zhì)量不良而不能正常工作時(shí)，由制造廠負(fù)責(zé)為用戶維修或更換。
5 技術(shù)要求
5.1 漏率
表1~表12給出了閥門的漏率指標(biāo)。
5.2 線圈溫升
表1~表3給出了電磁閥門的線圈溫升指標(biāo)。
5.3 開(kāi)、閉時(shí)間
表1~表3、表6給出了閥門的開(kāi)、閉時(shí)間指標(biāo)。
5.4 平均無(wú)故障次數(shù)
表1~表3、表5~表10、表12給出了閥廣J的壽命指標(biāo)。
5.5 最大、 最小可調(diào)量
5.6 烘烤溫 度
表11、表12給出了閥門的烘烤溫度指標(biāo)。
5.7 絕緣強(qiáng)度
絕緣強(qiáng)度指標(biāo)應(yīng)符合JBT 7352中的規(guī)定。
5.8 外觀質(zhì)t
閥門應(yīng)表面光潔，零件完整，標(biāo)志清晰。
5.9 動(dòng)作要求
閥門所有運(yùn)動(dòng)部件，必須靈活，可靠，不得有卡阻現(xiàn)象。
6 試驗(yàn)方法
6.1 漏率的測(cè)試
6.1.1 測(cè)試方法
氫質(zhì)譜檢漏法。
6.1.2 測(cè)試裝置
測(cè)試裝置如圖26所示，由氦質(zhì)譜檢漏儀《以下簡(jiǎn)稱儀器)、檢漏臺(tái)及真空輔助系統(tǒng)組成(真空輔助系統(tǒng)按GB/T 3164規(guī)定繪制)。
6.1.3 測(cè)試步驟
6.1.3.1 儀器的靈敏度 qmin的測(cè)試
在閥門漏率測(cè)試之前，首先按圖26所示裝置,在檢循臺(tái)接口處接標(biāo)準(zhǔn)漏孔.測(cè)得儀器的靈敏度qmin
6.1.3.2 閥門總體漏率 Qm的測(cè)試
6.1.3.2.1 將閥門的 由閥板直接封隔或開(kāi)啟的閥口與檢漏臺(tái)接口相對(duì)接，閥門的另一法蘭口用自板封隔。
6.1.3.2.2開(kāi)啟閥門的閥板， 啟動(dòng)真空系統(tǒng)。待閥門體內(nèi)壓力降到(5X10~1) Pa時(shí)，接通檢漏儀繼續(xù)抽空。當(dāng)測(cè)試裝置壓力降致極限壓力或接近極限壓力時(shí)，關(guān)閉通向真空系統(tǒng)的閥門。記錄檢漏儀輸出信號(hào)值U1.
6.1.3.3.1 將閥門的由閥板直接封隔或開(kāi)啟的閥口與檢漏臺(tái)接口相對(duì)接，閥門的另-法蘭口與大氣相通
6.1.3.3.2 關(guān)閉閥門的閥板， 啟動(dòng)真空系統(tǒng)。待系統(tǒng)內(nèi)壓力降到(5X10-') Pa時(shí)，接通檢漏儀繼續(xù)抽空。當(dāng)測(cè)試裝置壓力降致極限壓力或接近極限壓力時(shí)，關(guān)閉通向真空系統(tǒng)的閥門:對(duì)閥板以下空間進(jìn)行測(cè)試，記錄檢漏儀輸出信號(hào)值Un。
6.1.3.3.3 使用噴吹法時(shí)，將氦氣噴槍伸人閥門體內(nèi)，向閥板表面及密封口周圍噴氦、記錄各漏孔氦信號(hào)值，并計(jì)算其和U。.
6.1.3.3.4 使用氦罩法時(shí)， 用一密質(zhì)材料(如塑料薄膜等)制成的鐘罩將閥門嚴(yán)密扣封，井向罩內(nèi)充人氦氣。記錄檢漏儀輸出穩(wěn)定的氦信號(hào)值U1。
6.1.3.3.5 閥門正向漏率Qr(=Q)按式(1)計(jì)算。
6.1.3.4 閥門反向漏率 Qb的測(cè)試
6.1.3.4.1 關(guān)閉閥門的閥板,將閥門的另一法蘭口與檢漏臺(tái)接口相對(duì)接并連通。
6.1.3.4.2 啟動(dòng)真空 系統(tǒng)，按6.1.3.2.2進(jìn)行測(cè)試，記錄檢漏儀輸出信號(hào)值Ul。
6.1.3.4.3 使用噴吹法時(shí)， 用氦氣噴槍從外部向閥門閥板表面及密封口周園和閥門外表面噴氦，記錄各漏孔口氦信號(hào)值，并計(jì)算其和Uno
6.1.3.4.4 使用氦罩法時(shí)， 用-密質(zhì)材料(如塑料薄膜等)制成的鐘罩將閥門嚴(yán)密扣封，并向罩內(nèi)充入氦氣。記錄檢漏儀輸出穩(wěn)定的氦信號(hào)值Un。
6.1.3.4.5 閥門反向漏率Qb(=Q) 按式(1)計(jì)算。
6.1.3.5 閥門漏率測(cè)試方 法的采用
高真空微調(diào)閥、超高真空擋板閥、超高真空插板閥使用氦罩法測(cè)試。
6.1.3.6 閥門漏 率的具體測(cè)試內(nèi)容
閥門漏率的具體測(cè)試內(nèi)容見(jiàn)表13.
6.2 溫升的測(cè)試
用電阻法測(cè)試，依據(jù)JB/T 7352中規(guī)定的方法進(jìn)行。
6.3 開(kāi)、閉時(shí)間的測(cè)試
閥門的開(kāi)、閉時(shí)間，用秒表直接測(cè)得。
6.4 平均無(wú)故障次數(shù)的測(cè)試
6.4.1 閥門經(jīng)平 均無(wú)故障次數(shù)試驗(yàn)臺(tái)進(jìn)行測(cè)試，由控制系統(tǒng)操縱進(jìn)行平均無(wú)故障次數(shù)試驗(yàn)的自動(dòng)作業(yè)。用計(jì)數(shù)器測(cè)試、記錄閥門的開(kāi)、閉次數(shù)。
6.4.2 按平均無(wú)故障次數(shù)指標(biāo)的 12、 3/4 倍進(jìn)行預(yù)測(cè)，每次預(yù)測(cè)后，均需測(cè)試閥門的其他性能，以判斷閥門性能的變化，最后則按平均無(wú)故障次數(shù)指標(biāo)測(cè)試。也可根據(jù)測(cè)試工作的需要，按平均無(wú)故障次數(shù)指標(biāo)的1/2、3/4倍進(jìn)行預(yù)測(cè)后，繼續(xù)安排7/8倍、15/16 倍等進(jìn)行預(yù)測(cè)，但相鄰兩次之間開(kāi)、閉次數(shù)之
差不得小于平均無(wú)故障次數(shù)指標(biāo)的10%。
6.5 最小可調(diào)及最大可調(diào)的測(cè)試
6.5.1 將高真空微調(diào)閥安裝 在流量裝置系統(tǒng)上，在高真空狀態(tài)下，以逆時(shí)針?lè)较蛭⒘啃D(zhuǎn)手輪，閥門應(yīng)能按表4要求的最小微調(diào)量打開(kāi)，并能在規(guī)定的量程中平穩(wěn)調(diào)節(jié)。
6.5.2 繼續(xù)旋轉(zhuǎn)手輪， 使閥門處于全開(kāi)狀態(tài)，此時(shí)測(cè)得的氣體流量即為最大可調(diào)量。
6.6 烘烤溫度的測(cè)試
打開(kāi)閥門并使閥廣]體腔內(nèi)處于真空狀態(tài)，當(dāng)腔內(nèi)真空度達(dá)到10*Pa 時(shí)，使閥體部件(傳動(dòng)裝置除外)逐漸加熱到規(guī)定的溫度，并在此條件下，持續(xù)2h進(jìn)行烘烤試驗(yàn)。然后除去熱源，在真空狀態(tài)下使閥門自然冷卻至室溫。對(duì)烘烤后的閥門，進(jìn)行漏率試驗(yàn)。
6.7 絕緣強(qiáng)度的測(cè)試
根據(jù)JB/T 7352中規(guī)定的方法進(jìn)行。
6.8 外觀質(zhì)量
用目測(cè)法進(jìn)行。
6.9 動(dòng)作要求
6.9.1 手動(dòng)閥門應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄 (手輪)使之開(kāi)、閉三次，不得借助輔助工具。
6.9.2 氣動(dòng)閥f ]在電源電壓為A.C.220X(1土10%)V情況下，以0.6MPa壓力的壓縮空氣將閥門啟閉不少于三次，這時(shí)電磁換向閥應(yīng)能正常換向，氣缸及各連接部位無(wú)明顯漏氣現(xiàn)象，閥門的啟閉信號(hào)裝置應(yīng)
能正確地輸出啟閉信號(hào)。然后將氣源壓力降至0.4MPa重復(fù)以上試驗(yàn)，動(dòng)作均應(yīng)符合規(guī)定。如附有手動(dòng)
裝置時(shí)，應(yīng)在手動(dòng)狀態(tài)下重復(fù)試驗(yàn)。
6.9.3 電動(dòng)、 電磁閥門在電源電壓為A.C.220X(1士10%)V情況下，將閥門啟閉不少于三次，如附有手
動(dòng)裝置時(shí)，應(yīng)在手動(dòng)狀態(tài)下重復(fù)。
7檢驗(yàn)規(guī)則
7.1 每臺(tái)閥門都需 經(jīng)制造廠質(zhì)量檢驗(yàn)部門按本標(biāo)準(zhǔn)和相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)文件檢驗(yàn)合格后方可出廠。閥門的檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。
7.1.1 出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目:
a) 漏率:
b)外觀質(zhì)量:
c) 動(dòng)作。
7.1.2 型式檢驗(yàn)項(xiàng)目:
7.1.2.1 按 照閥門的基本參數(shù)中規(guī)定的項(xiàng)目。
7.1.2.2 閥門在下列情況下應(yīng)進(jìn)行型式試驗(yàn):
a) 試制新產(chǎn)品時(shí):
b) 閥門的設(shè)計(jì)、工藝或材料有重大變動(dòng)可能影響閥門的性能時(shí)。
8 標(biāo)志、 包裝、運(yùn)輸、貯存
8.1 閥門應(yīng)在 明顯位置固定產(chǎn)品標(biāo)牌，標(biāo)牌應(yīng)符合GB/T 13306規(guī)定。標(biāo)牌內(nèi)容應(yīng)包括:
a) 制造廠廠名及商標(biāo);
b) 閥門型號(hào)及名稱;
c) 閥門公稱通徑;
d) 閥門編號(hào)及制造日期。
8.2 閥門的包裝應(yīng)安全、 半固，應(yīng)注意保護(hù)密封面不受損傷。閥體內(nèi)部應(yīng)能保持清潔，防止銹蝕及損傷。應(yīng)防止產(chǎn)品的附件、備件及裝箱文件的損壞及丟失。
8.3 閥門出廠 時(shí)，應(yīng)附帶下列文件，并封裝在不透水的袋中。
a) 產(chǎn)品合格證;
b)產(chǎn)品說(shuō)明書(shū);
c) 備品配件清單。
8.4 閥門在運(yùn)輸貯存中應(yīng)保持清潔,不得受雨水浸襲。 閥i ]應(yīng)存放在空氣流通、相對(duì)濕度不大于90%，溫度不高于+ 40'C及不低于- 20C的倉(cāng)庫(kù)中。
